超低顆粒物監測儀的跟蹤流速和煙氣流速是否要與溫壓流一體機的流速一致，答案是建議流速盡可能接近。因為同平臺流速相差過大可能會涉及到設備不正常運行的問題。

根據HJ 76 -2016中的規定，樣品采集和傳輸裝置中的顆粒物CEMS應具備自動跟蹤煙氣流速變化調節采樣流量的等速跟蹤采樣功能，等速跟蹤吸引誤差應不超過士8%。因此，為了符合這一標準，超低顆粒物監測儀的采樣裝置也應該具備同樣的等速跟蹤采樣功能，以確保采樣流量能夠隨著煙氣流速的變化而自動調節，并且跟蹤誤差不超過士8%。

此外，如果超低顆粒物監測儀的跟蹤流速和煙氣流速不一致，可能會導致測量結果的偏差和不準確。因為超低顆粒物監測儀需要采集和測量煙氣中的顆粒物濃度，如果采樣流量與煙氣流速不匹配，就會影響顆粒物在采樣過程中的分布和濃度，從而影響測量結果的準確性。

綜上所述，為了確保超低顆粒物監測儀的正常運行和準確測量，建議其跟蹤流速盡可能接近煙氣流速，以符合相關標準和要求。

圖 HJ 76-2016 關于超低塵等速跟蹤采樣的要求